极紫外波前传感器HASO EUV 基于Hartmann技术，主要用于极紫外、软X射线等超短波长光束及其光学系统的特性分析、准直装调。它能够同时对相位和强度进行直接测量，测量快速、准确；对环境震动不敏感，是极紫外科研与工业领域波前检测的理想选择。
产品特点：
● 极高的绝对测量精度和重复性精度
● 高空间分辨率
● 高动态范围
● 在 4~40 nm (30~300 eV) 波段的优化设计
● 可进行多光束测量
● 兼容相干光源和非相干光源
● 兼容洁净高真空环境
● 可以测量PSF、MTF、M2、Strehl ratio等参数
● 可提供三种语言的软件开发包：C，LabVIEW，MATLAB
应用领域：
● 高次谐波、同步辐射光源、自由电子激光、激光驱动的二次光源等光束准直和分析
● 自适应光学，如：极紫外光学系统的自动准直以及微米/纳米级聚焦
● X射线环面聚焦镜的面型测量
● 极紫外光刻、稠密等离子体诊断
规格指标：
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产品型号 | HASO EUV |
通光口径(mm) | 13 × 13 |
子孔径个数 | 72 × 72 |
空间采样间隔 | ~ 180 μm |
曲率半径测量范围 | 0.5 m ~ ∞ |
重复性精度 | ~ λ/200 |
相对波前测量精度 | ~ λ/100 |
绝对波前测量精度 | ~ λ/75 |
倾斜测量灵敏阈 | 0.05 μrad |
曲率测量灵敏阈 | < 1×10-5 m-1 |
工作波段(光子能量) | 4~40 nm (30~300 eV) |
最小读出时间 | ~ 600 ms (@ 2 MHz digitization) |
外触发 | √ |
尺寸(mm) | Φ 115 × L 270 |
真空兼容性(无烃类、洁净真空) | 10-5 pa |
电气接口 | USB |
操作系统 | Win7 (x86/x64) |
测量软件 | WaveView |
