平面光学元件检测系统MESO，针对传统干涉仪检测平行平板的难题，提供了一种全新的快速检测方案。
产品特点：
• 突破光学元件后表面反射限制，可对众多平面光学元件的表面面形及透射波前进行测试
| √ 薄平行平板 | √ 窗片 | √ 基板 |
| √ 滤光片 | √ 衰减片 | √ 分束器 |
| √ 楔板 | √ 棱镜 | √ 角反射器 |
| √ 反射镜 | √ 晶体 | √ 柱状或片状光学元件 |
| √ 玻璃晶圆 | √ 机械加工表面 | √ 显示屏 |
| √ 风挡玻璃 | √ 大尺寸透镜 | √ 扩束器等光学系统 |
• 消色差技术，可指定检测波长 (内置光源可切换最多4种波长)
• 基于夏克哈特曼波前测量技术，对环境振动不敏感
• 可水平安装或竖直安装
• 用户引导式平面波前检测软件WaveSurf，数据格式兼容CODE V和MetroPro
规格参数：
相位点分辨率 | 680 × 500 |
工作波长范围 | 405~830 nm |
可选检测光源波长 (最多4个) | 405, 488, 520, 635, 785, 830 nm 或定制 |
输出光偏振态 | 可选线偏振或圆偏振 |
检测光束直径 | 光学变焦，从 1.5″ (38.1 mm) 到 6″ (152 mm) |
光高 | 4.25″ (108 mm) |
样品反射率 | 1% ~ 100%，无需衰减 |
样品最小厚度 | 100 μm |
波前重复性 | 1 nm |
相机分辨率及位深 | 4096 × 3000，10位 |
尺寸 (长´宽´高) | 63 cm × 30 cm × 45 cm |
重量 | 25 kg |
计算机配置 | 高性能 Dell 计算机、24″ 触屏 |
